本專班成立於民國93年11月，由經濟部與教育部特推動設置，為填補國內現階段產業發展所需人力之缺口，有效支援國內科技產業投入研發創新，提昇國內科技產業競爭力，期望在93至96年度增補五千名碩士層級之產業研發人力，以國內科技產業研發人力供給不足之電子、電機、電控、光電、材料、物理及相關跨科領域為主。
本院共分「光電顯示科技」、「微電子奈米科技」、「IC設計」、「通訊與網路科技」、「電機」、「資訊科技（IT）專班」 等六班。本班學生註冊依照一般研究所碩士班之標準繳交學雜費及學分費，其餘培訓費用由經濟部與合作廠商補助。合作企業將與每一位學生簽約，並至少聘用七成之畢業生，服務年限為二至四年。絕大部分企業另提供簽約學生在學期間每月新台幣伍仟元以上之獎助學金或生活補助費。修業期間，所有專業課程與本院一般研究生同時上課，修業期限以不超過二年為原則，畢業後獲本校碩士學位。
